VSC103 ガスクロマトグラフィー制御ソリューション

 

半導体業界や関連する科学研究において、ガス成分や揮発性化合物の正確な分析は、製品品質を確保するための重要な鍵となります。智感雲端(VitalSigns)のVSC103ガスクロマトグラフィー(Gas Chromatography)制御ソリューションは、業界に卓越した性能、非常に高い精度、そして長時間の運用における信頼性をもたらします。

ガスクロマトグラフィー(GC)について

ガスクロマトグラフィー(GC)は、混合物中の化合物を分離・分析するための広く使用されている分析技術です。これは、化合物の移動相と固定相における分布と分離の挙動に基づいています。GCは通常、揮発性有機化合物の分析に用いられますが、分析条件下で気化または揮発性誘導体に変換可能な非揮発性物質の分離と定量にも使用できます。

GCの基本原理は、流動相とカラム内壁にコーティングされた固定相との相互作用に関わっています。分離は、化合物の固定相と流動相間の分布、つまり平衡配分に基づいています。化合物の二相間の分布の程度は、物理化学的性質(例えば極性、分子量、揮発性など)の影響を受けます。混合物がクロマトグラフィーカラムを通過すると、異なる化合物が異なる速度でカラムを通過し、検出器で検出されます。

GCの構成要素には以下が含まれます:

  • サンプラー:サンプルをクロマトグラフィーカラムに導入するための装置です。サンプルは気体または液体として導入され、通常、自動サンプラーを使用して正確で再現性のあるサンプル導入が行われます。

  • クロマトグラフィーカラム:GCクロマトグラフィーカラムは、内壁に固定相がコーティングされた長くて細い管です。カラムの選択は、サンプルの性質と分離の要求に応じて決まります。一般的な固定相材料には液相と固相があります。

  • オーブン:クロマトグラフィーカラムの温度を制御するための装置です。通常、調整可能な温度範囲を持っています。温度選択は特定の化合物の分離と分析に重要で、化合物のカラム内での分配行動に影響を与えます。

  • 検出器:分離された化合物を検出し、対応する信号を生成する装置です。一般的なGC検出器には、火焰イオン化検出器(FID)、熱伝導検出器(TCD)、質量分析計(MSD)などがあります。それぞれの検出器は、特定のタイプの化合物に対する感度と選択性が異なります。

GC分析では、サンプルは通常、分析物の揮発性を高めたり、分離効率を改善するために、サンプルの抽出、誘導体化、濃縮などの前処理ステップが必要です。その後、サンプルはサンプラーに導入され、クロマトグラフィーカラムを通して分離され、検出器によって信号が生成されます。信号の分析と解釈を通じて、サンプル中の異なる化合物の存在と濃度を特定することができます。

GCは高い分解能、感度を提供し、幅広い応用が可能です。化学、環境分析、食品分析、製薬、石油などの分野での分析や品質管理に広く利用されています。

智感雲端のVSC103は、主に半導体製造プロセスにおけるガス濃度の検出に使用されます。半導体製造プロセスでは、ガス濃度の正確さが半導体のエッチングや生産環境の汚染、関連機器の正常な動作にとって重要な要素です。生産環境内のガス濃度は、ppbレベルまで精密に測定する必要があります。

これらの極めて微細な信号は、半導体製造が継続的に行われるためには、昼夜を問わず、絶え間なく監視する必要があります。VSG103の全体的なソリューションは、精度だけでなく、ソフトウェアとハードウェアが半導体製造の品質要件にも適合していることが、VSG103の主要な利点です。

VSC103 ソリューションの構成

  • 主制御基板 : VSC103 の主制御基板はシステム運行の中核であり、先進の ARM Cortex-M4 マイクロコントローラーを搭載しており、動作周波数は最大 72 MHz です。これにより、システムは複雑なデータ分析タスクを効率的に処理し、安定性と精度を保証します。さらに、主制御基板は USB to UART、RS485、RS232 などの多様な通信インターフェースを統合しており、他のデバイスとのデータ交換や遠隔制御を容易にします。
  • 大画面 TFT LCD タッチスクリーン: VSG103 は現在、7 インチの TFT LCD タッチスクリーンを搭載しており、ユーザーに直感的な操作インターフェースを提供します。1024×600 の高解像度ディスプレイとキャパシティブタッチパネルにより、パラメーターの設定やデータの表示が簡単で便利になります。ユーザーはリアルタイムでガスクロマトグラムを確認し、分析プロセスの各詳細を把握できます。また、タッチスクリーンはお客様の表示ニーズに応じて、他の異なる構成にも対応可能です。
  • ファムトアンペア電流計: ファムトアンペア電流計は VSC103 の核心部品で、最大 10G Ω の高感度電流測定能力を持ちます。24-bit の ADC 解像度と 5 Hz のサンプリングレートにより、データの高精度と安定性が確保されています。これにより、VSC103 は極めて微量の化合物を検出することができ、高精度な分析ニーズに対応します。1 ファムトアンペア (fA) の電流は 10 の負 15 乗アンペアに相当し、人間が通常放出する電流量は 1 ピコアンペア (pA) (1000 fA) です。装置の精度の高さがわかります。
  • 高圧および偏圧発生器: VSG103 には、さまざまな種類のプログラム可能な高圧発生器が搭載されています。これにより、0 ~ 10KV の電圧および 200V の偏圧が生成され、VSC103 はさまざまなアプリケーションニーズに適応し、より高い検出感度と精度を提供します。これらの機能により、VSC103 はさまざまな複雑な分析環境でも安定して運用できます。
  • K型熱電偶計: 双K型熱電偶計は、温度を正確に測定および制御できるため、さまざまな分析条件下でサンプルの温度を安定させることができます。気体とGC管壁上の化合物との反応時において、温度は非常に重要な指標であり、温度を適切な範囲内に制御することで、分析結果の一貫性と信頼性を保証することができます。
  • バルブと加熱制御: VSC103 システムは、電力分配ユニットと固体リレー加熱制御を備えており、超高精度のバルブ制御により、サンプル導入プロセス中の温度と流量を高精度で制御することができます。これらの機器は非常に正確な制御が必要であり、これらの機能により、VSG103 システムは分析プロセス中に超高の安定操作条件を維持し、分析の正確性を保証します。

VSC103 の産業応用

半導体プロセスでの応用

半導体プロセスにおいて、ガスの純度と組成は、製品の品質と性能にとって非常に重要です。VSC103 システムは、プロセス中のガス成分を正確に監視し、制御することで、プロセスの安定性と一貫性を確保します。例えば、化学気相成長(CVD)プロセスでは、VSC103 が前駆体ガスの供給をリアルタイムで監視し、均一で一貫した薄膜の成長を確保します。

環境監視

VSC103 は環境監視にも使用され、製造プロセスでの廃ガス排出を分析することで、環境規制の遵守を明確にすることができます。揮発性有機化合物(VOC)などのさまざまな化合物を検出・定量する能力を備えており、企業が環境汚染を減少させ、持続可能な発展能力を高めるのに役立ちます。

製薬および食品分析

製薬および食品業界では、成分の正確な分析が製品の安全性と品質を確保するための重要な要素です。VSC103 の高感度と高解像度により、これらの業界に最適な選択肢となり、サンプル中のさまざまな成分を正確に分析および定量することができます。製薬プロセスでは、一部の化学反応が極めて微小な電流を生成することがあり、VSC103 のフェムトアンペア測定機能は、関連する反応の測定を支援します。

研究と開発

VSC103 は研究機関においても広く使用されており、新材料や新技術の開発に役立っています。極めて微小な信号を捕捉するために、VSG103 の強力なデータ分析とノイズ処理機能を活用することで、複雑な研究ニーズをサポートし、科学的発見や技術革新を促進します。

VSC103 ソリューションの利点

高感度と低検出限

VSC103 は、フェムトアンペア電流計と高電圧発生器を装備しており、非常に高い感度と低検出限を実現しています。これにより、各種の高精度な分析要求を満たすことができ、極低濃度の条件下でも正確に化合物を検出し定量することが可能です。多様な高精度アプリケーションシーンに対応しています。

正確かつ安定した温度制御

双 K 型熱電偶と先進的な温度制御技術により、さまざまな分析条件下で温度を正確かつ迅速に制御することができます。温度の変動を最小限に抑え、分析の正確性と安定性を向上させます。これは、半導体製造プロセスや環境モニタリングなど、正確な温度制御が必要なアプリケーションにおいて特に重要です。

多様な通信インターフェース

VSC103 は、USB、RS485、RS232 などの多様な通信インターフェースをサポートしており、他の実験機器や制御システムとの統合が容易です。これにより、データの共有や遠隔操作が可能となります。この柔軟性により、VSC103 はさまざまなアプリケーションニーズに対応でき、システムの互換性と操作の便利さが向上します。

ユーザーフレンドリーな操作インターフェース

VSG103 は、タッチパネルを採用し、直感的な操作インターフェースを提供します。これにより、ユーザーはパラメーターの設定やデータの確認を簡単に行うことができ、作業効率が向上します。シンプルなタッチ操作で、ユーザーはリアルタイムで分析プロセス中のデータを監視し、迅速に意思決定を行うことができます。

高性能データ処理

VSG103 は、顧客のニーズに応じて、複数の高性能マイクロコントローラーおよび高解像度のADCを選択することができ、データ処理の効率性と精度を確保します。これにより、VSC103 は大量のデータを迅速に処理し、リアルタイムの分析結果を提供することで、作業効率を向上させます。

VSC103 の市場競争力

VSC103 の卓越した性能と多機能設計により、市場で強力な競争力を持っています。以下は、VSC103 の市場での主要な優位点です:

VSC103 は、半導体製造、環境モニタリング、製薬および食品分析、そして研究開発など、さまざまな業界やアプリケーションに適しています。その高い感度と精度により、さまざまな高精度分析のニーズに対する理想的な選択となっています。

高い信頼性と安定性

VSC103はその高品質な部品と先進的な技術により、卓越した信頼性と安定性を提供します。厳しい工業環境下でも、高精度な実験室でも、VSC103は安定して稼働し、一貫した分析結果を提供します。

柔軟な統合能力

VSC103は複数の通信インターフェースに対応しており、他の機器やシステムとの統合が容易です。これにより、データの共有やリモートコントロールを実現し、異なるアプリケーションのニーズに適応することができます。この柔軟性により、システムの互換性と操作の利便性が向上します。

優れたユーザー体験

タッチスクリーンと直感的な操作インターフェースにより、優れたユーザー体験が提供されます。シンプルで便利な操作により、ユーザーは迅速に使用を開始でき、作業効率と操作の利便性が向上します。

VSC103 気相クロマトグラフィー制御ソリューションは、GCアプリケーションにおいて卓越した性能、精度、および多機能な設計を提供し、ガス分析が必要なさまざまな産業において最適な選択です。

GCの未来の発展トレンド

技術の進歩と業界のニーズの増加に伴い、VSC103は今後も進化し続けます。未来の発展トレンドには以下が含まれます:

より高い感度と精度

分析技術と装置の継続的な改良に伴い、VSC103はさらに感度と精度を向上させ、より高い精度要求に応えることができるようになります。これにより、VSC103はより低濃度で化合物を検出および定量化し、その応用範囲を広げることができます。

スマートデータ処理と分析

今後のVSC103システムは、より先進的なデータ処理および分析機能を備え、人工知能(AI)や機械学習技術を含むようになります。これにより、VSC103は大量のデータを自動的に処理し分析することができ、より正確で迅速な分析結果を提供します。

 

IoT技術との統合

将来のVSC103システムは、IoT技術とさらに密接に統合され、分析プロセスの遠隔監視と制御が可能になります。これにより、業界のユーザーにとってより便利で効率的なソリューションが提供され、生産効率と操作の安全性が向上します。

VSC103 気相クロマトグラフ制御ソリューションは、その高性能、超高精度、そして長期的な運用信頼性により、各業界に顕著な利点をもたらします。智感雲端(VitalSigns)は引き続き研究開発に投資し、業界のユーザーにより先進的で信頼性の高いソリューションを提供します。

VSC103 仕様

Main Control Board

  • Microcontroller: ARM Cortex-M4
  • Operating Frequency: Up to 72 MHz
  • Communication Interfaces: USB to UART, RS485, RS232

TFT LCD Touch Screen

  • Screen Size: 7 inches
  • Resolution: 1024×600
  • Touch Type: Capacitive touch panel
  • User Interface: Real-time display of gas chromatography charts, customizable display content based on customer needs

Femto-ampere meter

  • Sensitivity: 10GΩ
  • Resolution: 24-bit ADC
  • Sampling Frequency: 5 Hz

High Voltage and Bias Voltage Generator

  • High Voltage Range: 0 ~ 10KV
  • Bias Voltage: 200V

K-Type Thermocouple

  • Temperature Control: Accurate measurement and control with dual K-type thermocouples

Valve and Heating Control

  • Heating Control: Solid-state relay control
  • Valve Control: High precision valve control
もしVitalSignsのGCやフェムトアンペアメーターソリューションに興味がある場合は、お気軽にご連絡ください:sales@vsigntek.com